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半导体Fab GEM300_E87 全功能解析
2026/10/15 17:00:22 网站建设 项目流程

E87主要负责Carrier和loadport 的远程控制以及状态上报,包括料盒的绑定,预留,验证,Dock、Mapping 等功能。支持EAP异常重启后可同步机台数据,保障全流程的无人化。

  1. 支持CarrierHold,ClampControl以及BypassCarrierID等功能
  2. 支持远程获取和设置料盒对象所有SEMI E87标准数据,包括ObjID 、LocationID 、CarrierIDStatus 、 CarrierAccessingStatus 、ContentMap SlotMap 、SlotMapStatus、 SubstrateCount、 Usage 等
  3. 支持远程创建(S14F9)和删除料盒(S14F11)
  4. 支持获取E87 远程服务列表(S14F25)和参数(S14F27),并支持远程调用所有服务

5.支持天车系统、支持Loadport预留、取消预留、关联、通知 、预绑定料盒、ID和Map验证、变更访问状态等操作

6.支持E87 标准定义的8种标准流程

E87指令服务列表如下:

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