AMAT 0190-30906干式泵
2026/9/4 17:18:48 网站建设 项目流程

AMAT 0190-30906干式泵是一款由丰田生产、应用材料认证使用的干式真空泵,型号为IPUP T100L,在半导体制造等严苛工业环境中得到广泛应用。

产品特点

  1. 采用无油干式设计,有效避免油蒸气污染,保障工艺腔体的洁净度

  2. 能够实现高真空度抽气效果,保证气体纯度与质量

  3. 设计简洁,易于维护保养,降低使用成本和维护难度

  4. 采用高品质材料与精密工艺制造,具备高可靠性和长期运行稳定性

  5. 提供多种接口和连接方式,便于与半导体设备系统集成

产品参数

  1. 部件号:0190-30906

  2. 型号:IPUP T100L V3.4

  3. 制造商:丰田

  4. 认证:应用材料认证使用

  5. 产地:日本

应用领域

  1. 半导体制造工艺中的真空环境维持

  2. 应用材料各类设备的配套抽气系统

  3. 刻蚀、沉积等工艺腔体的真空获取

  4. 晶圆传输系统中的真空搬运与定位

  5. 需要无油、洁净高真空环境的工业应用

总而言之,AMAT 0190-30906干式泵作为经应用材料认证的丰田IPUP T100L干式真空泵,凭借无油设计和稳定可靠的性能,在半导体制造的真空系统中扮演着重要角色。这款0190-30906干式泵在刻蚀、沉积等关键工艺设备的真空获取与维持中,是值得信赖的配套组件。

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