AMAT 0190-30906干式泵是一款由丰田生产、应用材料认证使用的干式真空泵,型号为IPUP T100L,在半导体制造等严苛工业环境中得到广泛应用。
产品特点
采用无油干式设计,有效避免油蒸气污染,保障工艺腔体的洁净度
能够实现高真空度抽气效果,保证气体纯度与质量
设计简洁,易于维护保养,降低使用成本和维护难度
采用高品质材料与精密工艺制造,具备高可靠性和长期运行稳定性
提供多种接口和连接方式,便于与半导体设备系统集成
产品参数
部件号:0190-30906
型号:IPUP T100L V3.4
制造商:丰田
认证:应用材料认证使用
产地:日本
应用领域
半导体制造工艺中的真空环境维持
应用材料各类设备的配套抽气系统
刻蚀、沉积等工艺腔体的真空获取
晶圆传输系统中的真空搬运与定位
需要无油、洁净高真空环境的工业应用
总而言之,AMAT 0190-30906干式泵作为经应用材料认证的丰田IPUP T100L干式真空泵,凭借无油设计和稳定可靠的性能,在半导体制造的真空系统中扮演着重要角色。这款0190-30906干式泵在刻蚀、沉积等关键工艺设备的真空获取与维持中,是值得信赖的配套组件。