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PART1

开放日活动概述

衍射光学元件（DOE）作为现代光子学核心技术，正重塑半导体光刻、激光加工、AR/VR、车载激光雷达等关键领域。其通过微纳结构精准调控光场的能力，是光学系统小型化、轻量化与性能突破的核心支撑。然而，DOE 复杂的光场设计、严苛的制造公差要求、以及与实际光源的匹配难题，叠加设计仿真与实物验证脱节、试错成本高、迭代周期长等问题，一直是行业核心痛点。

如何在研发阶段通过严格物理光学仿真，提前验证 DOE 的设计合理性、衍射性能与可制造性，大幅降低研发风险？VirtualLab Fusion 光之数字模型平台，以电磁场为通用交互语言，为 DOE 提供从概念到制造的端到端解决方案。不同于传统光线追迹工具，它可精准模拟衍射、干涉等核心物理效应，精确预测衍射效率、光场分布等关键性能，并在设计阶段定义可测量的微纳结构参数与公差标准。

当 DOE 设计落地为实物，又该如何高效完成其微米级周期结构、纳米级台阶高度、全域面形均匀性等核心参数的精密表征，验证设计性能达成率？本次活动联合中科霖仪，通过 TOPOS 系列非接触式全自动化扫描白光干涉仪，捕捉近原子尺度表面形貌细节，精准测量台阶高度、周期、线宽、面形 PV/RMS 等参数，实现 DOE 从仿真设计到实物测量的无缝闭环。

PART2

活动安排

1

衍射光学元件设计概述

• 衍射光学元件介绍（匀光器、分束器、扩散器）

• DOE元件设计算法-IFTA

2

VirtualLab Fusion光之数字模型平台简介

• 光学数字模型及对应的仿真算法

• 跨尺度元件仿真能力

3

衍射光学元件设计实战

• 激光匀化衍射光学元件设计

• 分光/图案式衍射光学元件设计

4

衍射光学元件设计结果的测量验证

• 白光干涉测量的核心验证能力

• 基于白光干涉仪的衍射光学元件设计-验证联动演示

5

技术答疑与现场检测服务件设计结果的测量验证

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